溅射靶材(溅射靶材上市公司龙头)

百科 2025-12-27 20:05:40 1372

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5、溅射是制备膜材料的主要技术之一,它利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是用溅射法沉积膜的原材料,称为溅射靶材。

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